Sputterdoel verwijst naar een sputterbron die onder geschikte procesomstandigheden op een substraat wordt gesputterd en afgezet door magnetronsputteren, multi-arc ion-plating of andere soorten coatingapparatuur om verschillende functionele films te vormen. Volgens de samenstelling kunnen doelen worden onderverdeeld in doelen van puur metaal, legeringsdoelen, oxidedoelen, silicidedoelen, enz .; afhankelijk van de vorm kunnen ze worden onderverdeeld in vlakke doelen (rechthoekige doelen en boogdoelen) en buisvormige doelen. . Sputterdoelen worden veel gebruikt op veel gebieden, zoals decoratie, gereedschappen en mallen, glas, elektronische apparaten, halfgeleiders, magnetische opnames, platte beeldschermen, zonnecellen, enz. Verschillende velden vereisen verschillende doelmaterialen.
1. Decoratieve coating
Decoratieve coating verwijst voornamelijk naar de oppervlaktecoating van mobiele telefoons, horloges, brillen, sanitair, hardwareonderdelen en andere producten. Het speelt niet alleen een rol bij het verfraaien van de kleur, maar heeft ook slijtvastheid, corrosieweerstand en andere functies. De belangrijkste varianten van doelen voor decoratieve coating zijn: chroomdoelen, titaniumdoelen, zirkoniumdoelen, nikkeldoelen, wolfraamdoelen, titanium-aluminiumdoelen, roestvrijstalen doelen, enz.
2. Coaten van verwerkingsmatrijzen of gereedschappen
Het wordt voornamelijk gebruikt voor oppervlakteversterking van gereedschappen en matrijzen, wat de levensduur van gereedschappen en matrijzen en de kwaliteit van bewerkte onderdelen aanzienlijk kan verbeteren. De afgelopen jaren hebben, gedreven door de ontwikkeling van de lucht- en ruimtevaart- en auto-industrie, het technische niveau en de productie-efficiëntie van de mondiale productie-industrie grote vooruitgang geboekt, en de vraag naar hoogwaardige snijgereedschappen en matrijzen neemt met de dag toe. De belangrijkste soorten doelen die worden gebruikt voor het coaten van mallen zijn: titanium-aluminium doelen, chroomdoelen, titanium doelen, enz.
3. Glascoating
De toepassing van doelmaterialen op glas is voornamelijk bedoeld om met een lage straling gecoat glas te produceren, dat het principe van magnetronsputteren gebruikt om meerdere lagen dunne films op glas te sputteren om de functies van energiebesparing, lichtregeling en decoratie te bereiken. De belangrijkste soorten doelen zijn onder meer: zilverdoel, chroomdoel, titaniumdoel, nikkel-chroomdoel, silicium-aluminiumdoel, titaniumoxidedoel, enz. Een andere belangrijke toepassing van doelmaterialen op glas is de vervaardiging van achteruitkijkspiegels voor auto's, voornamelijk chroom doelen, aluminium doelen, titaniumoxide doelen, enz. Omdat de kwaliteitseisen voor achteruitkijkspiegels voor auto's blijven stijgen, zijn veel bedrijven overgestapt van het oorspronkelijke aluminiumbekledingsproces naar het vacuümsputterverchromingsproces.
4. Coating van elektronische apparaten
Coatings voor elektronische apparaten worden voornamelijk gebruikt voor dunnefilmweerstanden en dunnefilmcondensatoren. Doelmaterialen voor dunnefilmweerstanden omvatten NiCr-doelwit, nikkelchroomsilicium (NiCrSi) doelwit, chroomsilicium (CrSi) doelwit, tantaal (Ta) doelwit, nikkelchroom-aluminium (NiCrA1) doelwit, enz.
5. Platte displaycoating
De snelle groei in de vraag naar apparaten met platte beeldschermen, van draagbare personal computers, televisies, mobiele telefoons, enz. heeft de ontwikkeling van verschillende typen apparaten met platte beeldschermen enorm bevorderd. De typen omvatten: liquid crystal display-apparaat (LCD), plasmaweergave-apparaat (PDP), enz. Al deze platte beeldschermen maken gebruik van verschillende soorten films. Zonder dunnefilmtechnologie zouden er geen platte beeldschermen zijn. Om de uniformiteit van coatings met grote oppervlakken te garanderen, de productiviteit te verbeteren en de kosten te verlagen, wordt steeds vaker sputtertechnologie gebruikt om deze coatings te bereiden. De belangrijkste soorten doelen die worden gebruikt voor platte displaycoating zijn: chroomdoelen, molybdeendoelen, doelen van aluminiumlegeringen, koperen doelen, enz.
6. Halfgeleidercoating
De snelle ontwikkeling van de informatietechnologie vereist dat geïntegreerde schakelingen steeds verder worden geïntegreerd. Elk eenheidsapparaat bestaat uit een substraat, een isolatielaag, een diëlektrische laag, een geleiderlaag en een beschermende laag. Onder hen de diëlektrische laag, de geleiderlaag en zelfs de beschermende laag. Het sputtercoatingproces wordt gebruikt, dus het sputterdoel is een van de kernmaterialen voor het voorbereiden van geïntegreerde schakelingen. Doelmaterialen voor halfgeleidercoating vereisen een hoge doelzuiverheid, doorgaans boven 4N of 5N. De belangrijkste varianten zijn onder meer wolfraam-titanium, titanium doelen, aluminium doelen en koperen doelen.
