Metalen doelen bestaan uit één enkel metaal of een metaallegering die speciaal is verwerkt en verfijnd om te voldoen aan de eisen van hoge zuiverheid en specifieke microstructuur. Veel voorkomende metalen doelen zijn koper, aluminium, zilver, titanium en hun legeringen. Metalen doelen worden geselecteerd op basis van hun unieke fysische en chemische eigenschappen om de prestaties en efficiëntie van processen zoals ionenimplantatie en dunne-filmdepositie te optimaliseren. Ons bedrijf kan biedenTitanium Ti sputterdoel, Sputterdoelen van 99,95% zirkoniumen chroomdoelen en andere metalen doelen, stuur ons een e-mail als u dat nodig heeft.
Keramische doelen zijn samengesteld uit zeer zuivere niet-metaalverbindingen, waaronder oxiden, silicaten, nitriden enzovoort. Deze doelen worden vervaardigd door sintermethoden bij hoge temperatuur om vaste materialen met complexe chemische en fysische eigenschappen te vormen. Hun unieke samenstelling geeft ze een onvervangbare plaats in hightechtoepassingen, vooral in de productie van halfgeleiders, opto-elektronische materialen en dunnefilmtechnologie.
1. Kosten en voorbereidingsproblemen
De bereiding van keramische doelen is moeilijk, niet alleen vanwege het vereiste sinterproces bij hoge temperaturen, maar ook vanwege de noodzaak om de zuiverheid en microstructuur ervan te controleren om de prestaties van het eindproduct te garanderen. Het smelt- en verwerkingsproces van metalen doelen is daarentegen relatief eenvoudig, met een hoge plasticiteit en gemakkelijk te vormen en te verwerken.
Vanuit kostenoogpunt zijn metalen doelen meestal goedkoper dan keramische doelen vanwege het relatief eenvoudige proces van metaalextractie, -verwerking en -voorbereiding. De bereiding van keramische doelen vereist echter een complexer proces
2. Fysische en chemische eigenschappen
Vanwege de unieke chemische structuur hebben keramische doelen doorgaans een hogere hardheid en een hoger smeltpunt, waardoor ze stabieler zijn bij hoge temperaturen en geschikt zijn voor filmafzettingsprocessen bij hoge temperaturen. Vooral bij toepassingen met hoge temperaturen of corrosieve omgevingen. Ze reageren niet gemakkelijk met andere elementen, waardoor de zuiverheid en stabiliteit van het materiaal behouden blijft.
Metalen doelen zijn geschikt voor een verscheidenheid aan complexe vereisten voor vormvoorbereiding, vooral in termen van thermische en elektrische geleidbaarheid die veel beter zijn dan keramische doelen, waardoor ze de voorkeur verdienen in toepassingen die een goed thermisch beheer en elektrische eigenschappen vereisen. Onder bepaalde omstandigheden kan het echter oxideren of corroderen.
3. Toepassingsgebied
Metalen doelen worden veel gebruikt in situaties waar goede geleidbaarheid en thermische geleidbaarheid vereist zijn, zoals de voorbereiding van geleidende films, spiegelreflectiefilms en de productie van magnetische materialen. Hun uitstekende plasticiteit geeft ze ook een voordeel bij de vervaardiging van doelen met complexe vormen.
Vanwege de hoge zuiverheid, chemische stabiliteit en het hoge smeltpunt hebben keramische doelen unieke toepassingen bij de productie van halfgeleiders, de afzetting van dunne films bij hoge temperaturen en de voorbereiding van foto-elektrisch materiaal. Deze toepassingen vereisen vaak materialen met extreem hoge prestatienormen.
