1. Zuiverheid
De zuiverheid van het titaniumdoel heeft een grote invloed op de eigenschappen van gesputterde films. Hoe hoger de zuiverheid van het doel, hoe minder onzuivere elementdeeltjes in de gesputterde film en hoe beter de filmprestaties (zoals corrosieweerstand, optische en elektrische eigenschappen). In praktische toepassingen zijn de zuiverheidseisen van titaniumdoelen voor verschillende doeleinden verschillend. . De zuiverheidseisen van doelen voor algemene decoratieve coatings zijn bijvoorbeeld niet veeleisend, terwijl doelen voor geïntegreerde schakelingen, beeldschermen en andere gebieden veel hogere eisen stellen aan de zuiverheid, doorgaans rond de 99,999 procent of meer.
2. Gemiddelde korrelgrootte
Gewoonlijk heeft het titaniumdoel een polykristallijne structuur en kan de korrelgrootte variëren van micron tot millimeters. De sputtersnelheid van het fijnkorrelige doel is sneller dan die van het grofkorrelige doel. De dikteverdeling van de door sproeien afgezette film is ook relatief uniform. De gemiddelde korrelgrootte van titaniumdoelen voor geïntegreerde schakelingen moet over het algemeen binnen 30 μm liggen, en de gemiddelde korrelgrootte van ultrafijnkorrelige titaniumdoelen is minder dan 10 μm.
3. Kristaloriëntatie
Titanium heeft een dicht opeengepakte zeshoekige structuur. Tijdens het sputteren worden titaniumdoelatomen gemakkelijk gesputterd in de richting van de hexagonale rangschikking van atomen. Om de hoogste sputtersnelheid te bereiken, is het daarom mogelijk om de sputtersnelheid te verhogen door de kristalstructuur van het doel te veranderen. sputtersnelheid. De kristallisatierichting van het titaniumdoel heeft ook een grote invloed op de dikte-uniformiteit van de gesputterde filmlaag, en de filmgrootte van het platte beeldscherm en de decoratieve coating is relatief dik, dus de vereisten voor de korreloriëntatie van het overeenkomstige titaniumdoel zijn relatief lage.
4. Geometrie en grootte
Het wordt voornamelijk weerspiegeld in de verwerkingsnauwkeurigheid en verwerkingskwaliteit, zoals verwerkingsgrootte, vlakheid van het oppervlak, ruwheid, enz. Een kleine dikte zal de levensduur van het doel beïnvloeden; Een te ruw afdichtingsoppervlak en een te ruwe afdichtingsgroef zullen vacuümproblemen veroorzaken nadat het doel is geïnstalleerd; het opruwen van het sputteroppervlak van het doel kan het oppervlak van het doel vol uitstekende punten maken. Onder invloed van het punteffect zal het potentieel van deze verhoogde punten aanzienlijk worden vergroot, waardoor de diëlektrische ontlading wordt afgebroken. Een te groot uitsteeksel is echter nadelig voor de kwaliteit en stabiliteit van het sputteren.
Ons bedrijf kan titaniumlegeringen leveren zoalsSputterdoelen van titaniumaluminiumEnTitanium Ti sputterdoel, evenals titaniumdoelen met verschillende zuiverheid en vorm, en accepteren ook aangepaste diensten. Indien nodig kunt u per e-mail contact met ons opnemen.
